ПРОФИЛЬ МАТЕРИАЛА

Мишень Nb-10Zr

Мишень из сплава Nb-10Zr
Мишень из сплава Nb-10Zr с измерением штангенциркулем

Сплавы Nb-10Zr обладают высокими температурами плавления, превосходной высокотемпературной стабильностью, коррозионной стойкостью и хорошими характеристиками осаждения тонких пленок. При магнетронном распылении тонкие пленки сплава Nb-Zr могут быть осаждены на поверхности стекла, полупроводниковых пластин, металлических компонентов и других подложек для улучшения их коррозионной стойкости, высокотемпературной стойкости, износостойкости и стабильности поверхности.

Мишени из сплава Nb-10Zr могут быть изготовлены на заказ в соответствии с требованиями заказчика по размеру, чистоте, химическому составу, шероховатости поверхности, структуре подложки и оборудованию для распыления. Доступны плоские, круглые и вращающиеся мишени.

Мишени из сплава 90Nb-10Zr используются для нанесения покрытий на стекло и доступны в плоском и вращающемся исполнении. Мишени из сплава Nb-10Zr также могут использоваться в PVD, магнетронном распылении и для нанесения тонких пленок в полупроводниках, дисплеях и оптических компонентах.

Основные характеристики мишеней из Nb-10Zr:

  1. Высокотемпературная стабильность
  2. Отличная коррозионная стойкость
  3. Превосходные характеристики получения тонких пленок
  4. Подходит для PVD и магнетронного распыления
  5. Возможность индивидуальной настройки размеров мишеней

Области применения

01

Покрытие стекла

Nb-10Zr может использоваться для нанесения тонких пленок методом PVD/магнетронного распыления на стеклянные поверхности с заданными оптическими свойствами, коррозионной стойкостью и защитой поверхности.

02

Дисплеи и оптика

Мишени из Nb-10Zr могут использоваться для: покрытий для ЖК-дисплеев, тонких пленок для дисплеев, оптических компонентов, оптических защитных пленок и функциональных прозрачных/проводящих пленочных систем.

03

Полупроводниковая и электронная промышленность

Мишени из Nb-Zr могут использоваться для осаждения тонких пленок методом PVD с целью формирования функциональных тонких пленок в процессах производства полупроводниковых и электронных устройств.

04

Защитные покрытия металлических поверхностей

Nb-10Zr может наноситься на металлические поверхности методом PVD для формирования функциональных тонких пленок с высокой стабильностью.

Типичные характеристики мишени для магнетронного распыления Nb-10Zr (с возможностью индивидуальной настройки)

Параметр Спецификация
Чистота ≥99,5%
Форма Круглая / Прямоугольная / Плоская / Трубчатая / Вращающаяся
Диаметр 10–400мм
Толщина 2–28мм
Ширина Согласно чертежу заказчика
Длина Согласно чертежу заказчика
Состояние поверхности Шлифованная / Полированная
Опорная пластина Cu / Mo / Нержавеющая сталь / По индивидуальному заказу
Способ соединения (бондинг) В соответствии с требованиями заказчика
Плотность Согласно технической спецификации
Размер зерна В соответствии с требованиями заказчика
Плоскостность Согласно чертежу заказчика
Шероховатость поверхности В соответствии с требованиями заказчика